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你知道臺(tái)式電鏡的結(jié)構(gòu)組成么?看完你就知道了

更新時(shí)間:2020-12-16點(diǎn)擊次數(shù):519
   臺(tái)式電鏡是一種全新的設(shè)計(jì),既保留了大型電子顯微鏡較高的放大倍數(shù)和大景深,同時(shí)體積小、操作簡(jiǎn)單,價(jià)格相對(duì)便宜。另外還可以安裝能譜儀,實(shí)現(xiàn)元素分析。
 
  臺(tái)式電鏡主要由真空系統(tǒng)、電子槍、光學(xué)系統(tǒng)和探測(cè)器等組成。
 
  1、真空系統(tǒng)
 
  一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動(dòng)。
 
  2、電子槍發(fā)射源
 
  電子槍發(fā)射源一般為鎢燈絲、六硼化鈰,也有采用場(chǎng)發(fā)射槍的臺(tái)式電鏡。其中鎢燈絲的價(jià)格便宜但使用壽命較短,六硼化鈰燈絲壽命長(zhǎng)、亮度高,價(jià)格也隨之而升,但其束流穩(wěn)定性差,不穩(wěn)定的束流直接影響能譜分析的準(zhǔn)確度。
 
  3、超高分辨率
 
  其分辨率在加速電壓為30kv的條件下能達(dá)到8nm。電鏡之所以會(huì)擁有如此高的分辨率,主要原因還在于其光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。
 
  4、光學(xué)系統(tǒng)
 
  傳統(tǒng)的臺(tái)式電鏡采用BSD探測(cè)器成像,具有超高分辨率的臺(tái)式電鏡采用的是與大型電鏡一致的三級(jí)電磁透鏡系統(tǒng),即二級(jí)聚光鏡+物鏡設(shè)計(jì),其作用是可以獲得更小的電子束斑直徑,將電子槍的電子束縮小成直徑約幾十埃的狹窄電子束,多級(jí)束流匯聚確保獲得低于8nm高分辨率成像。
 
  5、探測(cè)器
 
  探測(cè)器主要為背散射電子探測(cè)器或二次電子探測(cè)器。有些臺(tái)式電鏡同時(shí)采用兩種探測(cè)器,其中背散射電子探測(cè)器主要用來(lái)觀(guān)察材料成分,而二次電子探測(cè)器專(zhuān)門(mén)用來(lái)觀(guān)察樣品表面形貌,圖像的立體感較強(qiáng)。

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