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測量分析顯微鏡

更新時(shí)間:2021-01-06點(diǎn)擊次數(shù):2095

產(chǎn)品簡介:

測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn):

1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力

2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm

3. 具有高度自動(dòng)測量

4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊

5. 高速/無接觸測量

6. 同軸光/底光測量

7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級(jí)厚度


測量分析顯微鏡技術(shù)規(guī)格參數(shù):

型號(hào)

PZ-3020MA

工作臺(tái)

金屬臺(tái)尺寸(mm)

500 x 330

玻璃臺(tái)尺寸(mm)

350 x 250

X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)

300 x 200

手動(dòng)Z軸行程(mm)

120

自動(dòng)Z軸行程(mm)

2

外形尺寸(mm)

825 x 660 x 910

儀器重量(kg)

130

X、Y、Z軸分辨力(μm)

0.5

自動(dòng)Z軸分辨力(μm)

0.1

示值誤差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度,單位mm)

物鏡放大倍數(shù)誤差

包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%

落射照明光源

可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/span>

底光照明光源

可調(diào)高亮度LED燈源

 

目視系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

物鏡放大倍數(shù)

5X、10X、20X、50X

5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡

目鏡放大倍數(shù)

10X雙鏡筒

1/2”CCD攝像機(jī)

視頻總倍率

50X ~500X

142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)

單層透明膜厚度測量模組

高精度測量模式

快速測量模式

厚度測量范圍

100nm ~300nm

300nm ~500nm

500nm ~3μm

3μm ~20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm

測量軟件介紹:

 

(1) 測量元素種類齊全:直接測量12種元素(點(diǎn)、直線、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環(huán)、距離、角度、開云線,閉云線)。測量閉合云線的周長,面積及重心,使用三次插值算法,為目前準(zhǔn)測量云線的方法。采樣點(diǎn)越多,越準(zhǔn)確。

(2) *尋邊算法:確保尋邊準(zhǔn)確無誤.亞像素尋邊,精度可達(dá)像素的1/10,專業(yè)的專家尋邊模式,或解決打了表面光之后,尋邊困難的問題,通過各種尋邊算法的設(shè)置,可解決各種各樣的尋邊難題,從而準(zhǔn)確的抓取邊界。有自動(dòng)去毛邊功能,對(duì)陰暗不明的邊界一樣可以準(zhǔn)確的找出.

(3) 宏測量功能:宏測量功能就是,將一些測量,構(gòu)造命令關(guān)聯(lián)到一個(gè)按鈕上。點(diǎn)擊按鈕,即開始執(zhí)行宏測量功能,宏測量功能會(huì)自動(dòng)完成構(gòu)造動(dòng)作,減少用戶操作鼠標(biāo)次數(shù),提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能,用戶可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標(biāo)。

(4) 強(qiáng)大的構(gòu)造功能:軟件提供向?qū)У臉?gòu)造功能,這是軟件的一大特色??蛻粝胍裁唇Y(jié)果,直接點(diǎn)擊相關(guān)按鈕,就可以自動(dòng)得到想要的結(jié)果.軟件提供了10種構(gòu)造法(【平移】、【旋轉(zhuǎn)】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對(duì)稱】、【相交】、【相切】)

(5) 的小R角測量算法:對(duì)于大半徑,小弧長的R角,一直是測量界的測量難題,我公司經(jīng)過大量的實(shí)驗(yàn)及算法優(yōu)化,終于創(chuàng)造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問題.通過測量弧及弧相鄰的兩條切線,可解決這一難題.經(jīng)實(shí)踐,重復(fù)性可達(dá)0.01之內(nèi).

(6) 自動(dòng)判別測量(自動(dòng)識(shí)別線,圓,弧):只要將鼠標(biāo)放在工件的邊緣上,即可自動(dòng)尋邊得到線,圓或者弧.

(7) 顯示結(jié)果豐富:對(duì)各種元素的測量結(jié)果顯示﹐其信息量大﹐能滿足各種客戶的需要。并可設(shè)置哪些內(nèi)容顯示,哪些內(nèi)容不顯示﹐也可以單個(gè)元素進(jìn)行設(shè)置其顯示信息。也可對(duì)同類元素進(jìn)行設(shè)置.

(8) 超差紅色警示:如果測量結(jié)果超差,會(huì)指示是哪項(xiàng)內(nèi)容超差,并將該項(xiàng)顯示成紅色,對(duì)應(yīng)的圖形也會(huì)變成紅色.

(9) 能顯示光學(xué)放大倍率和屏幕放大倍率:下圖中顯示了光學(xué)放大倍率與屏幕放大倍率,屏幕放大倍率是由軟件自動(dòng)計(jì)算得到的,并能顯示一個(gè)像素相當(dāng)于多少mm。

(10) 能建立多重工件坐標(biāo)系:可根據(jù)圖紙建立多重工件座標(biāo)系。實(shí)現(xiàn)各坐標(biāo)系的座標(biāo)變換;能方便地實(shí)現(xiàn)直角坐標(biāo)系與極坐標(biāo)系之間的相互轉(zhuǎn)換;能實(shí)現(xiàn)各工件坐標(biāo)系的存儲(chǔ)和調(diào)用。建立座標(biāo)系后,如果選擇了十字線旋轉(zhuǎn)功能,十字線會(huì)作旋轉(zhuǎn),指示座標(biāo)系的旋轉(zhuǎn)方向

(11) 建立用戶程序方便快捷:可以通過平移和旋轉(zhuǎn)建立的用戶程序。

(12) 編輯修改用戶程序,直觀方便:可以刪除,插入任一元素,包括座標(biāo)系??梢圆榭茨硞€(gè)元素的尋邊狀況,及改變尋邊測量的環(huán)境。如果有必要,可以重新測量一個(gè)元素,以改變它的測量方法及環(huán)境。

(13) 機(jī)器自動(dòng)測量過程中可進(jìn)行手動(dòng)測量:如果客戶在測量某個(gè),或某幾個(gè)元素時(shí),希望手動(dòng)測量它,而不希望機(jī)器自動(dòng)去測,軟件可以輕松實(shí)現(xiàn)。軟件提供了斷點(diǎn)設(shè)置功能,可在要手動(dòng)測量的元素地方,設(shè)置斷點(diǎn),則機(jī)器運(yùn)行到該處時(shí),會(huì)自動(dòng)停下來。

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